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日勤管理で検出できない生産中の光量低下・異常を検出

光量モニタリングセンサMDFシリーズ/MDF-Aシリーズ

光量モニタリングセンサ MDFシリーズ/MDF-Aシリーズ
  • リアルタイムで光量を管理
  • あらゆる生産プロセスの光量監視に
  • 低照度から高照度まで対応
  • 250nm~400nmのUV波長を検出
  • 管理方法に合わせて2種類から選択

製品構成

イメージ:製品構成

ファイバユニット

UV光による劣化をブロック。
ファイバ長2m。

UVセンサヘッド

250nm~400nmのUV光を受光できる
UVセンサヘッド。

アンプユニット

常時モニタリングタイプ、閾値管理タイプの
2種類をご準備。
DINレールに簡易に設置。

特長

光源の異常を即検出

日勤管理だけでは検出できない生産中の光量低下を検出。
生産ラインに組み込み、常時モニタリングをしてトレーサビリティの確立が可能です。

  • イメージ:光源の異常を即検出
  • イメージ:光源の異常を即検出
250nm~400nmのUV光をセンシング

UVセンサヘッドをファイバユニットの先端に取り付けることで、
UV光をセンシング。UVセンサヘッドは工具レスで脱着可能です。

イメージ:250nm~400nmのUV光をセンシング

UVセンサヘッドを取り外すことで可視光~赤外光(400nm~1000nm)もセンシングできます。

低照度から高照度まで対応

標準タイプ、高感度タイプ2種類を用意しました。

250nm〜400nm(UVセンサヘッドあり)
  • 標準タイプ:0.2〜60mW/cm2
  • 高感度タイプ:0.01〜3mW/cm2

※365nm(参考値)

400nm〜1000nm(UVセンサヘッドなし)
  • 標準タイプ:300〜50,000lx
  • 高感度タイプ:10〜1,500lx

※White光源(参考値)

光量に合わせてゲイン(感度)切替

5段階切り替えで、幅広い用途にご利用いただけます。

外部機器への信号出力・設定が可能

制御機器と連動した運転が可能で、量産設備への展開が容易です。

コンパクト設計

コンパクトなアンプユニットはDINレールに固定。
設置スペースで悩むことはありません。

過酷環境でも安心
イメージ:過酷環境でも安心

ファイバユニットは石英ガラスファイバを採用。
ステンレス製のフレキシブルカバーで保護し、
耐光性・耐熱性を確保しました。
付属の固定用ナットにてファイバ先端部を共締め固定できます。

常時モニタリングにはMDF-Aシリーズ

イメージ:常時モニタリングにはMDF-Aシリーズ
⽤途例

光量の数値記録
リアルタイムの光量管理
光量フィードバック管理 など

光量をリアルタイムに管理・監視

光量に合わせて電圧1-5Vもしくは電流4-20mAでアナログ出⼒します。
エラー出⼒の代わりにアナログ値をリアルタイムに出⼒するので、明るさの数値管理が可能です。
出⼒データから調光値を調整したい、装置稼働中のUV照射器の光量変化をモニタリング・記録したいなどの⽤途に適しています。

グラフ:光量をリアルタイムに管理・監視
光量(明るさ)をリアルタイムに数値化

光量(明るさ)を0〜1,000の数値で管理することが可能。
また、基準値を設けることで現在の光量を相対値(0〜999.9%)で表⽰できるため、
現在の光量が基準値に対してどのような状態かをモニターできます。

MDF-A Series 応⽤事例
(1)フィードバック機能
閾値を設定して、閾値から外れた場合に光量を⾃動調整。
グラフ:フィードバック機能
(2)積算光量の管理
光量を常時モニタリングすることにより実現。
グラフ:積算光量の管理

MDF-Aシリーズ 仕様

種類 標準 高感度型
単独型 単独型
型式 MDF-TA MDF-HTA
測定光量範囲(参考値)※1 【365nm】0.2~60mW/cm2
【White光源】300~50,000lx
【365nm】0.01~3mW/cm2
【White光源】10~1,500lx
定格 電源電圧 DC12~24V±10% リップル含む
消費電流 40mA / 24V ※アナログ出力含まず
応答時間 100μs(最短)※同期OFF、平均回数1回
表示灯/デジタル表示※2 同期表示灯:橙色 / 7セグメント8桁表示(赤4桁+緑4桁)
外部入力 同期モード設定と入力時間に応じた機能自動切替
(同期、外部ゲイン設定、ティーチング)
外部入力極性 NPN/PNP切替式 NPN:0VでON、PNP:電源電圧でON
※外部入力極性は初期化をおこなっても初期値には戻りません。
アナログ出力 電圧 / 電流 切替式
電圧出力:1~5V、出力インピーダンス100Ω以下
電流出力:4~20mA、負荷インピーダンス300Ω以下
感度設定 ゲイン設定(5段階、ボタン操作/外部入力)
絶縁抵抗 20MΩ以上(DC500Vにて)
耐環境性 使用周囲温度 / 湿度 -25~+55℃ / 35~85%RH(氷結・結露しないこと)
保存周囲温度 / 湿度 -40~+70℃ / 35~85%RH(氷結・結露しないこと)
耐振動 10~55Hz 複振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間
耐衝撃 約50G(500m/s²) X,Y,Z各方向 3回
保護回路 電源逆接続保護
保護等級 IP50(IEC 60529)
適用法令 CEマーキング EMC規格:EN61000-6-2、EN55011適合
環境 RoHS指令(2011/65/EU)、中国RoHS(令第32号)
社内規格 耐ノイズ:Feilen Level 3クリア
材質 ケース:PPE、カバー:PC
質量(コード含む) 約65g
付属品 取付金具
  • ※1 測定光量範囲は、波長によって異なります。
  • ※2 表示値:モニタ値(0~1000)、相対値(0~9999)

MDF-Aシリーズ 外観図

詳細な図面のご請求はお問合せフォームよりお願いいたします。

MDF-TA/MDF-HTA
イメージ:MDF-TA/MDF-HTA外観図

閾値管理にはMDFシリーズ

イメージ:閾値管理にはMDFシリーズ
⽤途例

照射器の劣化検知
照射器の点灯確認
光量基準の合否判定 など

基準値からのズレを検知してエラー出⼒

予め基準となる明るさをティーチングし、基準値からのズレ量をモニタリング。 閾値から外れた場合にエラー出⼒します。 エラー出⼒を受けて装置を⽌めたい、 UV照射器の交換をしたいなどの場合に適しています。

グラフ:基準値からのズレを検知してエラー出⼒
3種類の閾値設定
(1)ゾーンティーチング
現在光量をティーチングすることで、
内部設定(初期値±10%)の上下限値を⾃動設定
(2)下限値ティーチング
光量をデフォルト値/下限値の順に調光し、
それぞれを設定値としてティーチング
(3)上下限値ティーチング
光量をデフォルト値/上限値/下限値の順に調光し、
それぞれを設定値としてティーチング
グラフ:3種類の閾値設定
3種類のエラー検出タイミング設定
(1)オンディレイ
⼀定時間以上の光のみを検出したい場合に選択
(2)オフディレイ
光を検出終了後もエラーを規定時間出⼒したい場合に選択
(3)ワンショット
光を検出した瞬間から規定時間のみエラーを出⼒したい場合に選択
イメージ:3種類のエラー検出タイミング設定
最⼤8台まで連結することが可能で省配線

連結型の親機・⼦機を使⽤することで最⼤8台まで連結が可能。⼦機の配線が出⼒線のみになるため省配線。配線⼯数が削減。

イメージ:最⼤8台まで連結することが可能で省配線

MDFシリーズ 仕様

種類 標準 高感度型
単独型 連結型親機 連結型子機 単独型
型式 MDF-TN MDF-TMN MDF-TSN MDF-HTN
測定光量範囲(参考値)※1 【365nm】0.2~60mW/cm2
【White光源】300~50,000lx
【365nm】0.01~3mW/cm2
【White光源】10~1,500lx
電源電圧 DC12~24V±10% リップル含む
消費電流 45mA以下/24V
応答時間 38.4ms(min)※パルス点灯時は、最短の積算時間
表示灯/デジタル表示※2 同期・出力表示灯:橙色 / 7セグメント8桁表示(赤4桁+緑4桁)
外部入力 モニタリング同期入力、外部ティーチング入力
制御出力 1出力 NPN オープンコレクタ
100mA / 30V以下 負荷電流:100mA以下 残留電圧:1.8V以下
出力方式 ライトオン / ダークオン 切替式
感度設定 ゲイン設定(5段階、ボタン操作/外部入力)
絶縁抵抗 20MΩ以上(DC500Vにて)
タイマ機能 OFF、オンディレイタイマ、オフディレイタイマ、ワンショットタイマ
タイマ時間 1~9999ms
耐環境性 使用周囲温度 / 湿度 -25~+55℃ / 35~85%RH(氷結・結露しないこと)
保存周囲温度 / 湿度 -40~+70℃ / 35~85%RH(氷結・結露しないこと)
耐振動 10~55Hz 振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間
耐衝撃 約50G(500m/s²) X,Y,Z各方向 3回
保護回路 電源逆接続保護
保護等級 IP50(IEC 60529)
CEマーキング -
材質 ケース:PPE、カバー:PC
質量(コード含む) 約65g
付属品 取付金具
  • ※1 測定光量範囲は、波長によって異なります。
  • ※2 表示値:モニタ値(0~1000)、相対値(0~9999)

MDFシリーズ 外観図

詳細な図面のご請求はお問合せフォームよりお願いいたします。

MDF-TN/MDF-HTN/MDF-TMN
イメージ:MDF-TN/MDF-HTN/MDF-TMN外観図
MDF-TSN
イメージ:MDF-TSN外観図
UVセンサヘッド
イメージ:UVセンサヘッド

250nm~400nmのUV光を受光できるUVセンサヘッド

Φ3×14.5mmの小型サイズ。
手が届きにくいスペースへの設置も可能。工具レスで脱着可能です。

※UVセンサヘッドを取り外すことで
 可視光~赤外光(400nm~1000nm)もセンシングできます。

UVセンサヘッド 仕様

型式 NF-MTA08UV
使用周囲温度 -40~+200℃
質量 10g
付属品 M6取付金具、ロックナット、歯付座金×2、六角ナット×2
UVセンサヘッド 外観図

詳細な図面のご請求はお問合せフォームよりお願いいたします。

イメージ:UVセンサヘッド 外観図
ファイバユニット
イメージ:ファイバユニット

ファイバユニットは石英ガラスファイバを採用。
ステンレス製のフレキシブルカバーでUV光による劣化を防止。
-60~200℃の過酷環境でも安心してご使用いただけます。
ファイバ長2m。

付属の固定用ナットにてファイバ先端部を共締め固定できます。
イメージ:付属の固定用ナットにてファイバ先端部を共締め固定できます

ファイバユニット 仕様
タイプ UV光源用
型式 NF-MTH08
種類 耐熱(ガラスファイバ)M4ネジ※1
使用周囲温度 -60~+200℃
ファイバ長 2,000mm
最小曲げ半径 R25mm
質量 40g
  • ※1 UVセンサヘッドに付属するM6取付金具を使用すればM6ネジとして使用可能です。
ファイバユニット 外観図

詳細な図面のご請求はお問合せフォームよりお願いいたします。

NF-MTH08(M4ネジ仕様)
イメージ:NF-MTH08(M4ネジ仕様) 外観図
UVセンサヘッド装着時(M4ネジ仕様)
ファイバユニットNF-MTH08+UVセンサヘッドNF-MTA08UV

イメージ:UVセンサヘッド装着時(M4ネジ仕様)ァイバユニットNF-MTH08+UVセンサヘッドNF-MTA08UV 外観図
UVセンサヘッド装着時(M6ネジ仕様)
ファイバユニットNF-MTH08+UVセンサヘッドNF-MTA08UV+M6取付金具

イメージ:UVセンサヘッド装着時(M6ネジ仕様) ファイバユニットNF-MTH08+UVセンサヘッドNF-MTA08UV+M6取付金具 外観図

アプリケーション事例

多様なアプリケーションで活躍

コーティング剤のUV硬化

光量をリアルタイムに監視

イメージ:光量をリアルタイムに監視
ウエハのダイシングテープのUV剥離

低光量でもUV光を検出

イメージ:低光量でもUV光を検出
液晶と基板の接着

必要光量が出ていなければ異常検知

イメージ:必要光量が出ていなければ異常検知
CIPGのUV硬化

点灯・消灯の確認

イメージ:点灯・消灯の確認

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