ナノ〜ミクロンオーダーの微細なキズや段差や凹凸、ゆるやかな傾斜を可視化
微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニット
このような課題を解決します!
- 鏡面ワークのナノ〜ミクロンオーダーの微細なキズや傾き成分を、高コントラストで検出したい
- 従来の微分干渉顕微鏡の視野より広く観察したい
- 鏡やウエハーなどの光沢表面の微細なキズ検査・加工時の切削痕や、反りの検査
微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニット
微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニットは、従来の撮像方法では検出が困難な、
ナノ〜ミクロンオーダーの微細なキズ、段差、凹凸、緩やかな傾斜などを 可視化することができます。
照明からレンズまで一体設計する独自の技術でマシンビジョンに特化した撮像を実現した装置です。
微分干渉ユニットと瞳分割偏光ユニット 特性の比較
| ワーク | 微分干渉ユニット | 瞳分割偏光ユニット |
|---|---|---|
 段差基準サンプル |
 段差部分の境界が |
 段差部分は観察できているが、 |
 鏡 |
 傾きやうねりを |
 表面の緩やかな傾きやうねりを |
微分干渉ユニット
特長
- 微細なキズや段差を鮮明に可視化
- 従来の微分干渉顕微鏡よりも広い視野での撮像を実現
用途例
- 光沢表面の微細なキズ・刻印検査
- ウエハーのキズ・クラックや結晶欠陥などの検出
撮像例:サファイア基板（30 nmレーザー溝加工）
微細な段差を可視化できている
撮像例:ウエハーのキズ
微細なキズを可視化できている
瞳分割偏光ユニット(特許登録済)
特長
- 独自の偏光素子で ワーク表面の緩やかな傾斜、うねりを可視化
- 最大約φ110 ｍｍの視野（光学倍率0.1x）で撮像可能
用途例
- 光沢表面の微細なうねりやキズの検査、ウエハーの研磨痕、加工時の反りや切削跡などの緩やかな傾斜の検出
ウエハー裏面
加工時についたうねり・切削痕が白く撮像されている
共通仕様
スペック・外形寸法図はダウンロード資料をご確認ください。
カスタム設計で光学倍率の変更が可能
センササイズを1.1inch、光学倍率を1.0xに変更などカスタム設計で光学倍率の変更が可能です。詳しくはお問合せください。
| 変更可能な光学倍率のラインアップ | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 微分干渉ユニット | 1.0x | 1.5x | 4.125x | 8.25x | 16.5x |
| 瞳分割偏光ユニット | 0.1x | 0.8x | 1.0x | 1.5x | 4.125x |
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