高倍率のSWIR検査で画像のブレと光量不足を解決する画期的な方法
(2026年8月)
大きなワークを動かして高倍率で検査する場合、画像のブレが課題になります。
カメラの露光時間を短くすることで、画像のブレを抑えることはできますが、
光量が足りない場合は画像が暗くなり、検査精度が低下してしまいます。
特に、SWIR(短波赤外)を用いた検査ではカメラ感度特性が低いため、その影響が顕著に出てきます。
今回はそんな課題を解決できる、照明とレンズを組み合わせた画期的な方法をご紹介します。
登場人物
- ライティングコンサルタント Aくん・・・・数多くの難案件をライティング技術で解決に導くコンサルタント
- 営業マン Bくん・・・元気とやる気だけが取り柄のシーシーエスのムードメーカー的営業マン
- F主任・・・・・・半導体製造装置の検査部門を担う技術者
今日はお客様が午後にご来社される予定です。
「今日の気温はすごいなー。。昼には40度台になりそうだぞ!」
営業マン Bくん
「だな~、帽子じゃなくて頭の上にかき氷機を載せるしかないな~!」
Aくん
「お前なら違和感なさそうだけど、普通なら相当クレイジーだぞ!」
営業マン Bくん
「ほんと、この暑さ何とかしてくれー!
もう限界で、プールに浸かりながら仕事したい気分だよ。」
Aくん
「どっちにしても、やっぱりクレイジーだな!」
ピンポ~ン!!
Aくん
「ほら、お客様がいらっしゃったぞ!」
営業マン Bくん
「こんにちは~!ようこそいらっしゃいました!もう暑くて大変だったでしょ~!
よかったら、このかき氷機能付き帽子で涼んでください。」

「わぁ、さっき話してたやつ、ホントに出てきた!
そんな怪しいものをお客様にお渡しするな!
…ところでF主任、今日はどんなテーマでお困りなんでしょうか?」
F主任
「今、このウエハーを検査してるんだけど、
表面のコーティング層を透過して内部に形成されてるパターンを見る必要があってね。
1300nmのSWIR波長が有効というところまではわかってるんだけど、
なんせ高倍率なものだから、画像が暗くて。」
Aくん
「これだけ反射率の高いウエハーなら光量も十分確保できそうですが、
そういう訳ではないんですか?」
F主任
「実はね、かなり高倍率でステージを動かして検査するから
振動の影響を受けないように、カメラの露光時間をうんと短くしてるんだ。
タクトタイムも短くしたいしね。」
Aくん
「そうですね、赤外領域だとカメラ感度が低いので、光量はあるに越したことないですね。」
F主任
「今は同軸付きの4倍のテレセントリックレンズを使用していて、
そこにスポット光を入れるくらいしかないから、なかなか光量アップも難しくてね。」
Aくん
「そういうことでしたら、つい先日完成したばかりのこれが使えそうですね。」
F主任
「お、レンズに何やらあまり見たことがないような照明がついてるけど...。」
Aくん
「はい。こちらはレンズとLED照明を一体型で設計し、
光量ロスを最大限にまで抑えたレンズ一体型SWIR照明なんです。
波長は1300nmで現在と同じなので、こちらで撮像してみていいですか?」
F主任
「もちろん!露光時間は50μsで撮像しているので、それに合わせてお願いできるかな?」
ゴソゴソゴソ...。
Aくん
「お待たせいたしました!こちらが同じ設定条件で撮像した画像です。」
F主任
「おー!ホントに同じ条件で撮像したの? 格段に明るく撮れてるよ!!」

「従来の一般的なスポット照明と比較すると、約6倍の明るさアップが実現できています。」
F主任
「6倍はすごいねー!
それに、ちょっと待って、画像の均一度もアップしているんじゃないの?」
Aくん
「気が付かれましたか。その通りです。
レンズと照明を一体化して設計することで、光量アップだけでなく均一度も大幅に向上させて、
周辺減光を極力抑えた撮像を実現しています。」
F主任
「これは、驚いた。ここまで均一度がアップすると、実際に設定可能な領域もさらに拡大できるし、
その分、撮像回数も減らすことができるし、とんでもない改善効果が期待できるよ!」
Aくん
「それはよかったです!仮に検査領域が50%アップして光量6倍確保出来たら単純計算でいくと、
タクトタイムも9分の1にまで縮められますから、生産量の多い品種だと、
効果を実感していただきやすいと思います。」
F主任
「いや~、ほんと、いい製品を紹介してもらったよ。早速導入に向けて検討するよ。
あれ?ところでBくんはあんなところで何してるのかな?」
営業マン Bくん
「ほらほらほら!見てください!この氷を削るスピード!!
私だってタクトタイムでは負けてませんよ~!この氷でかき氷作って差し上げますからね~!」
Aくん
「お前の頭に降り積もった氷なんかで、かき氷食べたくないわーっ!」
■レンズ一体型SWIR照明
照明・レンズを一体化した工学設計により、
従来よりも明るく均一度の高い画像取得を実現。
こちらの製品は特注品となります。
検査内容に応じて、発光波長や光学倍率のカスタマイズが可能です。
詳細はお気軽にお問合せください。
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