表面の光沢を無視して欠点を観察する驚愕の方法
（2026年3月）
ガラスや光学部材など、表面の光沢が強い透明体では
通常の観察方法だと微細な欠点を捉えることが難しいケースがあります。
そんな時に役立つ、とっておきの方法をご紹介します。
登場人物
- ライティングコンサルタント Aくん・・・・数多くの難案件をライティング技術で解決に導くコンサルタント
- 営業マン Bくん・・・元気とやる気だけが取り柄のシーシーエスのムードメーカー的営業マン
- T主任・・・半導体メーカーの設備改善を担当する若手技術者
今日は、半導体製造工程の設備改善を担当されているお客様がご来社の予定です。
Aくん
「ハックション！この時期は花粉やら黄砂やら、いろんなものが飛んでるから、
どうにかしてほしいよ。」
営業 Bくん
「お、そうかそうか、そんなに困っているなら...。」
Aくん
「特製の納豆キムチヨーグルトドリンクは要らないぞ！」
営業 Bくん
「先に言わないでくれよ～！それだったら、こっちのマスクはどうだ？
どんな細菌も毒ガスさえも受け付けないマスクだ！」
Aくん
「そんな物々しいマスク着けてたら、花粉は防げても、お客様がドン引きするわ！」
営業 Bくん
「そうかなぁ（シュコー）。ダースベイダーみたいでカッコいいんだけどなぁ～（シュコー）。」
ピンポーン．．．。
T主任
「ごめんくださーーい！」
Aくん
「あ！ほら、お客様がいらっしゃったぞ！シュコシュコ言ってないで、早くお迎えにいくぞ。」
営業 Bくん
「T主任、ようこそいらっしゃいました！
あれ、ちょっと目が充血してますが大丈夫ですか？」
T主任
「いやぁ、今年は花粉が多いのか、目がかゆくて…。」
営業 Bくん
「それは大変ですね。良かったらこのゴーグル付きのマスクを…。」
Aくん
「こらこら！お客様までダースベイダーにするんじゃないわ！
ところでT主任、今日はどんなご用件で？」
T主任
「早速ですが、持参したサンプルを見てください。」
営業 Bくん
「これはツルツルピカピカの透明ウエハーじゃないですか！汚れの検査ですか？」
T主任
「今回は汚れではなく、ウエハーに発生する微小なクラックが検査対象なんです。」
営業 Bくん
「え？どこを見てもすっごくキレイで、僕の目には何も見えないですね…。」
T主任
「ですよね。このあたりに欠点があるらしいのですが、熟練の技術者しかわからなくて、
正直言うと、私もよく確認できてないんです。」
Aくん
「ウエハー表面の反射は無視して、微細な変化だけを捉えたい、ということですね。」
T主任
「そうなんです。なにかいい方法ありますか？」
Aくん
「ちょっと特殊な方法になるんですが、試してよいでしょうか？」
T主任
「もちろん、お願いします。」
Aくん
「では、準備しますね。」
ゴソゴソ、ゴソゴソ
Aくん
「お待たせしました。これは、微分干渉ユニットになります。」
T主任
「おお、顕微鏡みたいですね。」
Aくん
「微分干渉は、顕微鏡でも使用されている手法なのですが、
マシンビジョン用として、照明光学系と撮像光学系を一体設計にすることで、
コンパクトで広い視野の撮像を実現しているんです。
では、早速サンプルを置いて確認してみましょう。」
T主任
「お願いします！」
Aくん
「欠点があると言われてるところにフォーカスを合わせて...。このあたりかな？
T主任
「すごい！クラックだけがキレイに浮かび上がってる！！
レンズ直下から光が照射されてるけど、反射光は拾われないんですか？」
Aくん
「原理を簡単に説明しますと、ワーク表面と段差から反射した光の、
わずかに異なる位相差（光路差）によって生じる『干渉』を観察することで、
表面の反射を無視して、クラックにより生じた微細な段差の可視化を実現しています。」
T主任
「つまり、クラックのところだけが異なる位相になっていて、
それを観察しているということですか？」
Aくん
「その通りです。この微分干渉ユニットは偏光した光を用いて特殊なプリズムで光を分割し、
それらの光の位相差でナノオーダーのキズなどの段差を克明に捉えることが出来るんです。」
T主任
「すごい！まさかそんなことが出来るなんて！
これまでどうやってもカメラでは可視化できなかったので
これは社内でも反響がありそうです。早速この結果を持ち帰って検討します！」
Aくん
「よろしくお願い致します。
今回のようなワーク表面がフラットな光沢物に対してはかなり有効な手法ですし、
視野やカメラのセンササイズに合わせて最適化設計も可能ですので、
他にもお困りのワークがございましたらぜひ、ご検討ください。」
T主任
「そうですね。その際はぜひ相談させてもらいま。。は、ハックション！
失礼しました。
僕の花粉症もズバッと解決できる方法があるといいんですけどね～。」
営業 Bくん
「フ、フ、フッ、
T主任、それが実はあるんですよ。この特性ドリンクを一口飲めば...。」
Aくん
「わぁ～！そいつのフタは絶対に開けないでくれ～っ！」
■微分干渉ユニット
ナノオーダーの微細なキズや、段差の検出を実現します。
■撮像事例
ワーク：テストプレート（段差44nm）
ワーク：テストプレート（段差30nm
ワーク：鏡
■オンラインセミナー「最新マシンビジョン技術で工程効率化！ 半導体検査・計測の活用事例セミナー」
半導体製造は、製品の処理性能向上、省電力化、コスト削減を目的に回路の微細化、基板の大型化、積層化、チップレットなどの新たな技術開発が進んでいます。 今回のセミナーは、半導体の微細化・大型化に対応する検査技術や、三次元計測や波長を活用した可視化の事例をご紹介するオンラインセミナーを開催します。無料でご参加いただけますので、詳細・参加申込みは特設サイトをご覧ください。
【開催日時】 2026/4/23（火） 14:00～ Zoomで配信
シーシーエスのテスティングルームで、
ライティングコンサルタントにご相談いただきながらお試しいただくことが可能です。
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